水溶液为无色透明的发烟液体。相对密度约1.32。沸点108.5℃。有刺激性气味,易挥发。可溶于水,有消毒性能。氟硅酸没有无水产品,最高浓度为60.92%,组成为13.3%时最稳定,蒸馏时不分解。能腐蚀玻璃、陶瓷、铅及其他金属,对皮肤有强烈腐蚀,对人的呼吸器官有毒害。
主要用于制氟硅酸盐、四氟化硅;也用于电镀、木材防腐、酿造工业设备消毒、自来水添加剂等