洁净室
洁净室之
(一)洁净室之定义
　　洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
　「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
　　洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。

　　世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
　　209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
　　美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

(三)洁净室控管之项目
　　1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
　　2. 能防止微尘粒子之产生。
　　3. 温度和湿度之控制。
　　4. 压力之调节。
　　5. 有害气体之排除。
　　6. 结构物与隔间之气密性。
　　7. 静电之防制。
　　8. 电磁干扰预防。
　　9. 安全因素之考虑。
　　10. 节能之考量。

(四)洁净室之分类

1.乱流式(Turbulent Flow)：
　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
　　优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

2.层流式(Laminar)：
　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
　　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
　　(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

3.复合式(Mixed Type)：
　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
　　(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
　　(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
　　(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
　　洁净工作台：等级Class 1~100级。
　　洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

(五)洁净室气流之流动
　　洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
　　洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
　　洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
　　另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。
　　垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
　　影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
　　一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。
　　洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

(六)洁净室之构成
　　洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室：
　　(1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
　　(2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。
　　(3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。
　　(4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。
　　(5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。
　　洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：
　　A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；
　　B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
　　C.吸湿性小；
　　D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；

洁净室按用途分类（可分为两大类）
（1）、工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

（2）、生物洁净室，主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为； A、 一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）

乱流洁净室的原理和特性

1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀速度、不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室.

2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。

3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）
（1）、自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
（2）、换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)

六、洁净室（净化空调）的结构组成
（1）、组合式净化空调机组
（2）、洁净送风管道
（3）、洁净回风管道
（4）、送风静压箱
（5）、高效过滤器
（6）、多孔扩散板
（7）、洁净室吊顶
（8）、洁净室隔断
（9）、百叶回风口
（10）、新风口

污染源知识
1、发尘量
洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。
A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；
C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；
D、清洗：用容剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。

室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。

2、发菌量
分析国外试验资料可以认为：
（１） 洁净室内当工作人员穿无菌服时：
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
（２） 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人
喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
（３） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
（４） 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14
（５） 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：
（６） 手术中人员发菌量 878个/ min.人
所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。   

　

空气洁净度等级	GB 50073-2001	ISO/DIS 14644—4	医药洁净厂房设计规范
6级（1000级）	50～60	25～56
7级（10000级）	15～25	11～25	≥25
8级（100000级）	10～15	3.5～7	≥15
9级（1000000级）	10～15	3.5～7	≥12

　

洁净度级别	漏风率（%）
	系统	空调设备	总计εΣ
低于1000级 1000级到低于100级 等于或高于100级	4 2 1	2 1 1	4 2 2

　

名 称	允许浓度	名 称	允许浓度	名 称	允许浓度
一氧化碳 丙酮 环乙酮 苯 甲苯	30 400 50 40 100	二甲苯 甲醇 乙醇 环乙醇 二氧化硫	100 50 1500 50 15	三氯乙烯 四氯化碳 盐酸 汽油 乙醚 氢氧化物及硝酸	30 25 15 350 500 5

　　洁净室施工及验收规范

　　JGJ71—90

　　主编单位：中国建筑科学研究院

　　批准部门：中华人民共和国建设部

　　施行日期：1991年7月1日

　　关于发布行业标准《洁净室施工及验收规范》的通知

　　（90）建标字第694号

　　根据原国家计委计标函（1987）第3号文的要求，由中国建筑科学研究院主编的《洁净室施工及验收规范》，业经审查，现批准为行业标准，编号JGJ71—90，自一九九一年七月一日起施行。

　　本标准由建设部建筑工程标准技术归口单位中国建筑科学研究院归口管理，其具体解释等工作由中国建筑科学研究院负责。

　　中华人民共和国建设部

　　一九九年十二月三十日

 
第一章　总则

　　第1.0.1条 为了在洁净室（含装配式洁净室，下同）施工中，贯彻国家有关的方针政策和统一施工验收要求，统一检测方法，做到保证工程质量、节约能源、保护环境和安全操作，特制定本规范。

　　第1.0.2条 本规范适用于新建和改建的工业洁净室和一般生物洁净室的施工及验收，不适用于有生物学安全要求的特殊生物洁净室的施工及验收。

　　第1.0.3条 洁净室必须按设计图纸施工，施工中需修改设计时应有设计单位的变更通知。没有图纸和技术要求的不能施工和验收。

　　第1.0.4条 洁净室施工前应制订详尽的施工方案和程序，施工中各工种之间应密切配合，按程序施工。先行施工的工种，不得妨碍后续的施工。

　　第1.0.5条 工程所用的主要材料、设备、成品、半成品均应符合设计规定，并有出厂合格证或质量鉴定证明文件。对质量有怀疑时，必须进行检验。过期材料不得使用。

　　第1.0.6条 洁净室施工过程中，应在每道工序施工完毕后进行中间检验验收，并记录备案。

　　第1.0.7条 洁净室的施工及验收除执行本规范外，还应符合国家现行的有关标准的规定。

　　第二章　建筑装饰
　第一节　一般规定

　　第2.1.1条 洁净室建筑装饰施工应于屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装完毕，主体结构验收后进行，其内容包括室内装饰工程，门窗安装，缝隙密封，以及各种管线、照明灯具、净化空调设备、工艺设备等与建筑的结合部位缝隙的密封作业。

　　第2.1.2条 洁净室建筑装饰施工进度安排应与其他专业工种制订明确的施工协作计划，按程序施工互相配合。施工主要程序见附录二。

　　第2.1.3条 洁净室建筑装饰施工除应符合现行国家标准《装饰工程施工及验收规范》GBJ210和《地面与楼面工程施工及验收规范GBJ209的
　　　　　　　要求外,还应保证施工的气密性，减少施工作业的发尘量和保持施工现场的清洁。有防腐蚀要求时,还应符合现行国家标准《建　筑防腐蚀工程施工及验收规范》TJ212的规定。
　　　　　　
　　第2.1.4条 洁净室建筑装饰施工现场的环境温度应不低于10℃，但对特殊的装饰工程，应按装饰材料说明书要求的温度施工。

　　第二节　材料要求

　　第2.2.1条 用于洁净室嵌缝的弹性密封材料及防尘涂料必须有注明成份、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法的说明书以及产品合格证书。不得使用过期产品和未经鉴定的产品。
    第2.2.2条 洁净室涂料地面水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号；水磨石地面应现浇，所用小石子直径为6～15mm，水磨石细磨后，宜用不挥发的护面材料打涂。
    第2.2.3条 洁净室墙面和吊顶的抹灰，应为高级抹灰，养护时间应充分。不得采用受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料。
    第2.2.4条 洁净室使用的木材的含水率不应大于16%,并且不得外露使用；石膏板、胶合板和木龙骨应做防潮处理或采用防水石膏板；生物洁净室不应使用木材和石膏板作表面装饰材料。

　　第三节　构造与装饰要求

　　第2.3.1条 预埋在钢筋混凝土构件和墙体上的铁件、木框等应牢固，木砖和木框应做防腐处理，预埋铁件外露部分和吊杆支架应做防锈或防腐处理。
　　第2.3.2条 不同材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙，见图2.3.2。

　　图2.3.2缝隙密封宽度

　　1—弹性密封材料；2—钢窗框；3—窗台板；4—设备外框；5—钢龙骨隔墙

　　第2.3.3条 所有建筑构配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联，不应与设备支架（如传送带吊杆、风管吊杆以及有振动的设备）和管线支架相联接。
　  第2.3.4条 建筑装饰及门窗的缝隙应在正压面密封。
    第2.3.5条 改建工程在隔墙拆移、打洞、管线穿墙和穿楼板等施工后，应修补牢固，表面进行相应装饰，防止积尘掉灰。
    第2.3.6条 管线隐蔽工程应在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围应修补平齐，严密，清洁，并用密封材料嵌缝。隐蔽工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。
    第2.3.7条 洁净室地面垫层下应铺设0.4～0.6mm厚的防水薄膜作防潮层，接头处搭接50mm，用胶带粘牢；混凝土浇筑时分仓线不宜通过洁净室。施工卷材和涂料的基底含水率不应大于6～8%。
    第2.3.8条 踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2～3mm。当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角,其圆角半径R应大于等于50mm；当踢脚板与地面材料不同时，应用弹性材料嵌固。见图2.3.8。
　　

　　图2.3.8踢脚板部分做法

　　1—踢脚板；2—密封嵌固材料

　　第2.3.9条 洁净室的装饰表面质量应符合表2.3.9的规定。

　　洁净室装饰表面质量要求一览表表2.3.
使用部位 要　　　求　　　项　　　目
 发尘性 耐磨性 耐水性 防静电 防霉性 气密性 压缝条
吊顶 涂料 不掉皮、粉化 - 可耐清洗 电阻为105～108Ω 耐潮湿、霉变 - -
 板材 不产尘，无裂痕 - 可擦洗 - - 板缝平齐、密封 平直，缝隙不大于0.5mm
 抹灰 按高级抹灰 - 耐潮湿 - 耐潮湿、霉变 - -
隔墙 涂料 不掉皮、粉化 - 可耐清洗 电阻为105～108Ω 耐潮湿、霉变 - -
 板材 不产尘，无裂痕 - 可耐清洗 - 耐潮湿、霉变 板缝平齐、密封 平直，缝隙不大于0.5mm
 抹灰 按高级抹灰 - 可耐清洗 - 耐潮湿、霉变 - -
地面 涂料 不起壳、脱皮 耐磨 耐清洗 电阻为105～108Ω - - -
 卷材 不虚铺，缝隙对齐，不积灰 耐磨 耐清洗 电阻为105～108Ω - 缝隙密封，不虚焊 缝隙焊接牢固，平滑
 水磨石 不起砂，密实，光滑 耐磨 耐清洗 - - - -
第四节　施工要求

　　第2.4.1条 建筑装饰工程必须与各专业工种间制定严格的施工程序，一般依次为：留洞打底、各专业安装、内门窗安装、修补洞口及周边基层打底、饰面抹灰和罩面板工程、嵌缝处理、油漆刷浆工程和裱糊工程。

　　第2.4.2条 在洁净室建筑装饰施工过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间（如吊顶和夹墙内部等）还应做好清扫记录。

　　第2.4.3条 应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。

　　第2.4.4条 对已安装高效过滤器的房间，不得进行有粉尘的作业。

　　第2.4.5条 塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂，表面赶平，不得漏涂或残存空气。
　　第2.4.6条 密封胶嵌固前，应将基槽内的杂质、油污剔除干净，并保持表面干燥。
　　第2.4.7条 洁净室临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。
　　第2.4.8条 施工现场应保证良好的通风和照明。对于改建工程，应查明和切断原有电源及易燃、易爆和有毒气体管线后方可施工。对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。
　　第五节　装配式洁净室的安装
　　第2.5.1条 装配式洁净室的安装，应在装饰工程完成后的室内进行。室内空间必须清洁、无积尘，并在施工安装过程中对零部件和场地随时清扫、擦净。
　　第2.5.2条 施工安装时，应首先进行吊挂、锚固件等与主体结构和楼面、地面的联结件的固定。
　　第2.5.3条 地面面层必须平整，其不平整度不应大于0.1%。在做卷材面层或涂料面层时应考虑与垂直壁板交接处的密封。
　　第2.5.4条 壁板安装前必须严格放线，墙角应垂直交接，防止累积误差造成壁板倾斜扭曲，壁板的垂直度偏差不应大于0.2%。
　　第2.5.5条 吊顶应按房间宽度方向起拱，使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整。吊顶周边应与墙体交接严密。
　　第2.5.6条 安装过程中不得撕下壁板表面塑料保护膜，禁止撞击和踩踏板面。
第2.5.7条 各种构配件和材料应存放在有围护结构的清洁、干燥的环境中，平整地放置在防潮膜上。
　　第2.5.8条 构配件和材料的开箱启封应在清洁环境中进行，应严格检查其规格性能和完好程度，不合格或已损坏的构配件严禁安装。
　　第2.5.9条 需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽必须严格清扫清洗，除去杂质和油污，确保粘贴密实，防止脱落和积灰。
　　第2.5.10条 装配式洁净室的安装缝隙，必须用密封胶密封。

　　第三章　净化空调系统

　　第一节　一般规定

　　第3.1.1条 净化空调系统的一般要求和风管、部件的具体制作验评方法，应分别符合现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243和《通风与空调工程质量检验评定标准》GBJ304的有关规定。
　　第3.1.2条 净化空调系统的施工安装应根据“洁净室主要施工程序”（见附录二）制订协作进度计划，严格按计划进行。
　　第二节　风管及其部件的制作
　　第3.2.1条 风管和部件的板材应按设计要求选用，设计无要求时应采用冷轧钢板或优质镀锌钢板。
　　第3.2.2条 风管不得有横向拼接缝，尽量减少纵向拼接缝。矩形风管底边宽度等于或小于800mm时，其底边不得有纵向拼接缝。
　　第3.2.3条 风管板材的拼接采用单咬口；圆形风管的闭合缝采用单咬口，弯管的横向缝采用立咬口；矩形风管转角缝采用转角咬口、联合角咬口或按扣式咬口。上述咬口缝处都必须涂密封胶或贴密封胶带。
　　第3.2.4条 风管内表面必须平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。
　　第3.2.5条 风管应按设计要求刷涂涂料。当设计无要求时，可按表3.2.5要求刷涂。刷涂前必须除去钢板表面油污和铁锈,干燥后再刷涂。涂层应无漏涂、起泡、露底现象。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表3.2.5风管刷涂涂料的要求
风管材料 系统部位 涂料类别 刷涂遍数
冷轧钢板 全部 内表面：醇酸类底漆醇酸类磁漆 22
  外表面：有保温：铁红底漆无保温：铁红底漆磁漆或调和漆 212
镀锌钢板 回风管，高效过滤器前送风管 内表面：一般不刷涂当镀锌钢板表面有明显氧化层，有针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷时，按下列要求刷涂：磷化底漆锌黄醇酸类底漆面漆（磁漆或调和漆等） 122
  外表面：不刷涂 
  高效过滤器后送风管 内表面：磷化底漆锌黄醇酸类底漆面漆（磁漆或调和漆等） 122
  外表面：不刷涂 

　　第3.2.6条 加工镀锌钢板风管应避免损坏镀锌层，损坏处（如咬口、折边、铆接处等）应刷涂优质涂料两遍。
　　第3.2.7条 柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气和不产生静电的材料制做（如光面人造革、软橡胶板等），光面向里。接缝应严密不漏风，其长度一般取150～250mm。安装完毕后不得有开裂或扭曲现象。
　　第3.2.8条 金属风管与法兰连接时，风管翻边应平整并紧贴法兰，宽度不应小于7mm，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。
　　第3.2.9条 法兰螺钉孔和铆钉孔间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺钉孔。螺钉、螺母、垫片和铆钉应镀锌。不得选用空心铆钉。
　　第3.2.10条 中效过滤器后的送风管法兰铆钉缝处应涂密封胶，或采取其他密封措施。涂密封胶前应清除表面尘土和油污。
　　第3.2.11条 风管、静压箱和部件必须保持清洁。制作完毕用无腐蚀性清洗液将内表面油膜和污物清洗干净,干燥后经检查达到要求即用塑料薄膜及胶带封口，清洗后立即安装的可不封口。
　　第3.2.12条 净化空调系统管径大于500mm的风管应设清扫孔及风量、风压测定孔，过滤器前后应设测尘、测压孔，孔口安装时应除去尘土和油污，安装后必须将孔口封闭。
　　第3.2.13条 风管及其部件不得在没有做好墙壁、地面、门窗的房间内制作和存放，制作场所应经常清扫并保持清洁。

　　第三节　系统安装

　　第3.3.1条 法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘的材料，严禁采用乳胶海绵、泡沫塑料、厚纸板、石棉绳、铅油、麻丝以及油毡纸等含开孔孔隙和易产尘的材料。密封垫厚度根据材料弹性大小决定，一般为4～6mm。一对法兰的密封垫规格、性能及厚度应相同。严禁在密封垫上刷涂涂料。
　　第3.3.2条 法兰密封垫应尽量减少接头。接头采用阶梯形或企口形，并涂密封胶，如图3.3.2所示。密封垫应擦拭干净后,涂胶粘牢在法兰上，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁相平。

　　 　　图3.3.2法兰密封垫接头
　　1—密封垫；2—密封胶
　　第3.3.3条 风管上成对法兰的拧紧力矩要大小一致，安装后不应有松紧不匀的现象。
　　第3.3.4条 经清洗干净包装密封的风管及其部件，安装前不得拆卸。安装时拆开端口封膜后，随即连接好接头；如安装中间停顿，应将端口重新封好。
　　第3.3.5条 风阀、消声器等部件安装时必须清除内表面的油污和尘土。
　　第3.3.6条 风阀的轴和阀体连接处缝隙应有密封措施，阀的各部分（包括外框、活动件、固定件及连接螺钉、螺帽、垫片等）表面应做镀铬、镀锌或喷塑处理，叶片及密封件表面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。
　　第3.3.7条 净化空调系统风管安装之后，在保温之前应进行漏风检查。当设计对漏风检查和评定标准有具体要求时，应按设计要求进行。
　　无具体要求时，应根据洁净度级别的高低按表3.3.7的规定进行。具体检查试验方法见附录三。
　　                                                                  　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表　3.3.7漏风检查方法和评定标准
法净度 风管部位 检查方法 漏风指标
任意级别低于1000级1000级到低于100级等于或高于100级 送、回风支管送、回风管送、回风总管和支干管送、回风总管和支干管 漏光法漏光法漏风法漏风法 无漏光无漏光≤2%≤1%
　　第3.3.8条 擦拭净化空调系统内表面应采用不易掉纤维的材料。
　　第3.3.9条 保温层外表面应平整、密封、无胀裂和松弛现象。洁净室内的风管有保温要求时，保温层外应做金属保护壳。保护壳的外表面应光滑不积尘，便于擦拭，接缝必须密封。
　　保温施工时不得在风管壁上开孔和上螺钉，不得破坏系统的密闭性。
　　风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开启。
第3.3.10条 高效过滤器送风口尺寸必须符合设计要求。安装前应清洗干净。需在洁净室内安装和更换高效过滤器的送风口,风口翻边和吊顶板之间的接缝应加密封垫。在技术夹层内安装和更换高效过滤器的风口，安装前应配合土建施工预埋短管,短管和吊顶板之间如有裂缝必须封堵好。详见图3.3.10风口表面涂层破损的不得安装。风口安装完毕应随即和风管连接好,开口端用塑料薄膜和胶带密封。

　　 　　图3.3.10高效过滤器送风口安装示意图
　　（1）在洁净室内安装和更换过滤器的送风口
　　（2）在吊顶内安装和更换过滤器的送风口
　　1—轻质吊顶；2—钢筋混凝土顶板；3—高效过滤器；4—密封垫；
　　5—扩散板；6—静压箱7—拉杆；8—柔性短管；9—风口翻边；10—压块；
　　11—连接风管；12—螺杆；13—螺母；14—预埋短管；15—锚固钢筋

　　第四节　高效过滤器安装

　　第3.4.1条 高效过滤器安装前，必须对洁净室进行全面清扫、擦净，净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶内安装高效过滤器，则技术夹层或吊顶内也应进行全面清扫、擦净。
　　第3.4.2条 洁净室及净化空调系统达到清洁要求后,净化空调系统必须试运转。连续运转12h以上，再次清扫、擦净洁净室后立即安装高效过滤器。
　　第3.4.3条 高效过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中应轻拿轻放，防止剧烈振动和碰撞。
　　第3.4.4条 高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括滤纸、密封胶和框架有无损坏；边长、对角线和厚度尺寸是否符合要求；框架有无毛刺和锈斑（金属框）；有无产品合格证，技术性能是否符合设计要求。然后进行检漏。（见附录六、一）经检查和检漏合格的应立即安装。安装时应根据各台过滤器的阻力大小进行合理调配，对于单向流，同一风口或送风面上的各过滤器之间，每台额定阻力和各台平均阻力相差应小于5%,洁净度级别等于和高于100级洁净室的高效过滤器，安装前应按附录六、一规定的方法检漏，并符合第5.4.1条规定的要求。

　　第3.4.5条 安装高效过滤器的框架应平整。每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm。

　　第3.4.6条 高效过滤器和框架之间的密封采用密封垫、不干胶、负压密封、液槽密封和双环密封等方法时，都必须把填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。

　　第3.4.7条 采用密封垫时，垫的厚度不宜超过8mm，压缩率为25%～30%。其接头形式和材质应符合第3.3.1条和第 3.3.2条的规定。采用液槽密封时，液槽内的液面高度要符合设计要求，框架各接缝处不得有渗液现象。采用双环密封条时，粘贴密封条时不要把环腔上的孔眼堵住；双环密封和负压密封都必须保持负压管道畅通。
 

　　第3.4.8条 安装高效过滤器时，外框上箭头应和气流方向一致。当其垂直安装时，滤纸折痕缝应垂直于地面。

第五节　空调器安装

　　第3.5.1条 安装空调器时应对设备内部进行清洗、擦拭，除去尘土、杂物和油污。

　　第3.5.2条 设备检查门的门框应该平整，密封垫应符合本规范第3.3.1条和第3.3.2条对法兰密封垫的要求。

　　第3.5.3条 净化空调系统的空调器接缝应做密封处理，安装后应进行密封检查，其方法按附录四“空调器漏风率检测法”进行检漏、堵漏测量其漏风率。测量漏风率时，空调器内静压保持1000Pa。洁净度等于或高于1000级的系统，空调器漏风率不应大于1%；洁净度低于1000级的系统，空调器漏风率不应大于2%。

　　第3.5.4条 过滤器前后必须装压差计，压差测定管应畅通、严密、无变形和裂缝。

  ?第3.5.5条 表冷器冷凝水排出管上应设水封装置和阀门，在无冷凝水排出季节应关闭阀门，保证空调器密闭不漏风。

　　第六节　空气净化设备和装置的安装

　　第3.6.1条 本节适用于空气吹淋室、气闸室、传递窗、余压阀、层流罩、洁净工作台、洁净烘箱、空气自净器、新风净化机组、净化空调器、生物安全柜等设备。本节未包括的或有特殊要求的设备，其安装施工及验收的技术要求，应按设备的技术文件（如说明书、装配图、技术要求等）的规定执行。

　　第3.6.2条 集中式真空吸尘器及其系统的安装施工及验收应符合现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243的有关规定。

　　第3.6.3条 设备应按出厂时外包装标志的方向装车、放置，运输过程防止剧烈振动和碰撞。对于风机底座与箱体软连接的设备，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。

　　第3.6.4条 设备运到现场开箱之前，应在较清洁的房间内存放，并应注意防潮。当现场一时不具备室内存放条件时，允许短时间在室外存放，但应有防雨、防潮措施。

　　第3.6.5条 设备应有合格证，开箱应在较干净的环境下进行，开箱后应擦去设备内外表面的尘土和油垢，设备开箱检查合格后应立即进行安装。

　　第3.6.6条 设备应按装箱单进行检查，并应符合下列要求：

　　一、设备无缺件，表面无损坏和锈蚀等情况；

　　二、内部各部分连接牢固。

　　第3.6.7条 设备安装一般情况下应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行全面清扫、擦拭干净之后进行。但与洁净室围护结构相连的设备（如新风净化机组、余压阀、传递窗、空气吹淋室、气闸室等）或其排风、排水（如排风洁净工作台、生物安全柜、洁净工作台和净化空调器的地漏等）管道在必须与围护结构同时施工安装时，与围护结构连接的接缝应采取密封措施,做到严密而清洁；设备或其管道的送、回、排风（水）口应暂时封闭，每台设备安装完毕后，洁净室投入运行前，均应将设备的送、回、排风口封闭。

　　第3.6.8条安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平。

　　第3.6.9条带风机的气闸室或空气吹淋室与地面之间应垫隔振层。

　　第3.6.10条 凡有机械联锁或电气联锁的设备（如传递窗、空气吹淋室、气闸室、排风洁净工作台、生物安全柜等）,安装调试后应保证联锁处于正常状态。

　　第3.6.11条 凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运转,试运转时叶轮旋转方向必须正确；试运转时间按设备的技术文件要求确定；当无规定时，则不应少于2h。

　　第3.6.12条 设备的验收标准应符合该设备的技术文件要求。

　　第3.6.13条 安装生物安全柜时应符合下列规定：

　　一、生物安全柜在安装搬运过程中，严禁将其横倒放置和拆卸，宜在搬入安装现场后拆开包装；

　　二、生物安全柜安装位置在设计未指明时应避开人流频繁处，并应避免房间气流对操作口空气幕的干扰；

　　三、安装的生物安全柜的背面、侧面离墙壁距离应保持在80～300mm之间。对于底面和底边紧贴地面的安全柜所有沿地边缝应加以密封。

　　四、生物安全柜的排风管道的连接方式，必须以更换排风过滤器方便确定。

　　第3.6.14条 生物安全柜在每次安装、移动之后，必须进行现场试验，并符合设计要求；当设计无规定时,Ⅱ级生物安