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濕度考慮 (2008/03/26 09:34)

       降低靜電的一個經濟簡便的措施是把相對濕度控制在40%或更高。相當濕度高時,一層薄的導電水層將被吸附在大多數塑膠(吸濕性的)表面上,這有助於防止靜電的產生。然而,在大多數晶片處理設施中,這也是被禁止的。一些光刻膠材料對潮濕是十分敏感的,因為防止靜電產生的這同一個薄水層,同時也影響了光刻膠材的粘結。因此,生產微型器件的區域通常需要低的相對濕度。另外,半導體晶片生產的許多工序需要高溫烘烤,使晶片和載體表面進一步變得乾燥。同時,任何高速流體例如去離子水或空氣(在抽真空條件下)能導致電荷的產生。

因此,很容易看出,半導體生產線上具有產生高的靜電電壓所需要的全部條件。例如,一個穿著尼龍衣服的員工穿著塑膠基底鞋緩慢走過清潔的地板時,在該員工的身上很容易產生7 000~8 000 V的靜電電壓,玻璃纖維製成的晶體載料盒滑過聚丙烯桌面時能容易地產生10 000 V的靜電電壓。下面給出一些晶片裝配線的靜電測量記錄(未採取防靜電措施時):

晶片5KV

晶片裝料盒35KV

空氣軸承系統上覆蓋的耐熱的有機玻璃蓋板8KV

桌面10KV

貯物盒30KV

工作服10KV

石英晶體1.5KV



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阿里创建号:ALI-00202442
创建日期:
2006-01-12 10:11:34
修改日期:
2008-06-02 11:15:31
版权所有,未经作者许可,不得抄袭或转载,如有需要,可以与本人联系。